共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
高密度ITO靶材及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200310111226.0
申请日：
2003-10-10
公开(公告)号：
CN1528945A
公开(公告)日：
2004-09-15
发明(设计)人：
徐华蕊
廖春图
周怀营
胡林轩
刘心宇
申请人：
申请人地址：
541004广西壮族自治区桂林市金鸡路1号
IPC主分类号：
C23C1408
IPC分类号：
C23C1434
代理机构：
广西南宁公平专利事务所有限责任公司
代理人：
来光业
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-10-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101006306743 IPC(主分类):C23C 14/08 专利号:ZL2003101112260 申请日:20031010 授权公告日:20070822 |
| 2010-04-28 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 | 专利实施许可合同备案的生效 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101001358263 IPC(主分类):C23C 14/08 专利号:2003101112260 合同备案号:2009450000052 让与人:桂林电子科技大学 受让人:柳州华锡铟材料有限责任公司 发明名称:高密度ITO靶材及其制造方法 申请日:20031010 申请公布日:20040915 授权公告日:20070822 许可种类:独占许可 备案日期:20090714 |
| 2009-12-09 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 2007-08-22 | 授权 | 授权 |
| 2004-09-15 | 公开 | 公开 |
| 2004-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |