一种高铟含量的ITO靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202210503537.4

申请日：

2022-05-10

公开(公告)号：

CN114873992A

公开(公告)日：

2022-08-09

发明(设计)人：

张兵王志强曾墩风马建保陶成徐军伟

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35622 C04B35638 C23C1408 C23C1434 C23C1435

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

杨静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	公开	公开
2022-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20220510

共 50 条

[1]

一种ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173817A ,2011-09-07

[2]

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法 [P].

陆映东 ;

梁盈祥 ;

宋春华 ;

黄誓成 ;

张倍维 ;

黄作 ;

莫斌 ;

陆岱骏 ;

覃丽莉 .

中国专利 :CN118084480B ,2025-11-28

[3]

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法 [P].

陆映东 ;

梁盈祥 ;

宋春华 ;

黄誓成 ;

张倍维 ;

黄作 ;

莫斌 ;

陆岱骏 ;

覃丽莉 .

中国专利 :CN118084480A ,2024-05-28

[4]

一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法 [P].

王政红 ;

张秀勤 ;

薛建强 ;

邢朋飞 .

中国专利 :CN101392362A ,2009-03-25

[5]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[6]

稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法 [P].

王志强 ;

马建保 ;

林燕明 ;

曾墩风 ;

陶成 ;

毕荣锋 .

中国专利 :CN114032517A ,2022-02-11

[7]

ITO靶材的制备方法 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113321490A ,2021-08-31

[8]

一种应用于异质结的ITO靶材及其制备方法 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113666736A ,2021-11-19

[9]

一种高均匀性ITO靶材的制备方法 [P].

樊繁 ;

吴伯增 ;

魏宗武 ;

邓久帅 ;

王莉莉 ;

胡明振 ;

徐灿辉 ;

赵明勇 .

中国专利 :CN114890774A ,2022-08-12

[10]

一种高纯度ITO靶材的制备方法 [P].

周新林 ;

董程 ;

刘洪浩 .

中国专利 :CN107188556A ,2017-09-22

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