一种高纯度ITO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710441786.4

申请日：

2017-06-13

公开(公告)号：

CN107188556A

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

周新林董程刘洪浩

申请人：

申请人地址：

215137 江苏省苏州市相城区金澄路88号文化创业园88-1

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-22	公开	公开
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20170613
2021-05-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C04B 35/457 申请公布日:20170922

共 50 条

[1]

一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法 [P].

王政红 ;

张秀勤 ;

薛建强 ;

邢朋飞 .

中国专利 :CN101392362A ,2009-03-25

[2]

ITO靶材的制备方法 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113321490A ,2021-08-31

[3]

一种ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173817A ,2011-09-07

[4]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[5]

一种新型ITO靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

梁盈祥 ;

张倍维 ;

宋春华 ;

黄作 ;

覃丽莉 ;

莫斌 .

中国专利 :CN117902893B ,2025-12-09

[6]

一种ITO靶材及其制备方法 [P].

黄田奇 ;

苏百樱 ;

张科 ;

林辉 .

中国专利 :CN111592339A ,2020-08-28

[7]

一种高铟含量的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

王志强 ;

曾墩风 ;

马建保 ;

陶成 ;

徐军伟 .

中国专利 :CN114873992A ,2022-08-09

[8]

一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214977744U ,2021-12-03

[9]

一种低密度ITO蒸镀靶材的制备方法 [P].

罗云 ;

刘洋 ;

赵合涛 ;

刘笑开 ;

吴昭宽 ;

应建存 .

中国专利 :CN118684482A ,2024-09-24

[10]

一种新型ITO靶材及其制备方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

梁盈祥 ;

张倍维 ;

宋春华 ;

黄作 ;

覃丽莉 ;

莫斌 .

中国专利 :CN117902893A ,2024-04-19

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