一种高均匀性ITO靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202210420586.1

申请日：

2022-04-20

公开(公告)号：

CN114890774A

公开(公告)日：

2022-08-12

发明(设计)人：

樊繁吴伯增魏宗武邓久帅王莉莉胡明振徐灿辉赵明勇

申请人：

申请人地址：

545616 广西壮族自治区柳州市柳东新区初阳路19号A区厂房3栋230号

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35453 C04B35622 C04B35626 C23C1408

代理机构：

广西南宁公平知识产权代理有限公司 45104

代理人：

黄永校

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高均匀性ITO靶材及其制备方法 [P].

丁金铎 ;

杨进明 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

李强 .

中国专利 :CN118184333A ,2024-06-14

[2]

高纯高密度ITO靶材的制备方法 [P].

钟小华 ;

麻七克 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN105712703A ,2016-06-29

[3]

一种高铟含量的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

王志强 ;

曾墩风 ;

马建保 ;

陶成 ;

徐军伟 .

中国专利 :CN114873992A ,2022-08-09

[4]

一种ITO靶材的成型方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173816A ,2011-09-07

[5]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

袁铁锤 ;

陈立三 ;

杨杨 ;

刘文德 ;

李瑞迪 ;

赵为上 ;

苗华磊 .

中国专利 :CN108947520A ,2018-12-07

[6]

一种ITO陶瓷靶材的制备方法 [P].

王永超 ;

赵泽良 ;

贾时君 ;

尤青文 .

中国专利 :CN113735568A ,2021-12-03

[7]

一种制备ITO靶材的方法 [P].

杨硕 ;

郗雨林 ;

王政红 .

中国专利 :CN103787650B ,2014-05-14

[8]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[9]

一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法 [P].

张莉兰 ;

徐蒙 ;

钟小华 ;

高建成 ;

凤吾生 .

中国专利 :CN114591070A ,2022-06-07

[10]

一种ITO管状靶材的制备方法 [P].

周晓龙 ;

曹函星 ;

王志勇 ;

曹建春 .

中国专利 :CN107244911A ,2017-10-13

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