一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202210029514.4

申请日：

2022-01-11

公开(公告)号：

CN114591070A

公开(公告)日：

2022-06-07

发明(设计)人：

张莉兰徐蒙钟小华高建成凤吾生

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区龙子湖路与通淮南路交口西北角

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35457 C04B35622 C04B3563 C23C1408 C23C1435

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

费雯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-07	公开	公开
2022-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20220111

共 50 条

[1]

稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法 [P].

王志强 ;

马建保 ;

林燕明 ;

曾墩风 ;

陶成 ;

毕荣锋 .

中国专利 :CN114032517A ,2022-02-11

[2]

一种ITO靶材的成型方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173816A ,2011-09-07

[3]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

袁铁锤 ;

陈立三 ;

杨杨 ;

刘文德 ;

李瑞迪 ;

赵为上 ;

苗华磊 .

中国专利 :CN108947520A ,2018-12-07

[4]

一种高均匀性ITO靶材的制备方法 [P].

樊繁 ;

吴伯增 ;

魏宗武 ;

邓久帅 ;

王莉莉 ;

胡明振 ;

徐灿辉 ;

赵明勇 .

中国专利 :CN114890774A ,2022-08-12

[5]

一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 ;

程波 .

中国专利 :CN117362005A ,2024-01-09

[6]

一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 ;

程波 .

中国专利 :CN117362005B ,2024-09-03

[7]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[8]

高密度、高纯度、大尺寸陶瓷靶材的制备方法 [P].

岳鑫 ;

吕延庆 ;

肖飞 ;

张福林 ;

韩小莹 ;

赵洪俭 .

中国专利 :CN114195513A ,2022-03-18

[9]

一种ITO靶材及其制备方法 [P].

黄田奇 ;

苏百樱 ;

张科 ;

林辉 .

中国专利 :CN111592339A ,2020-08-28

[10]

一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

鄢波 .

中国专利 :CN120423869A ,2025-08-05

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