一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510531506.3

申请日：

2025-04-25

公开(公告)号：

CN120423869A

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

曾墩风王志强曾探鄢波

申请人：

芜湖映日科技股份有限公司

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/645 C04B35/626 C23C14/34

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

杨静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省唐山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20250425
2025-08-05	公开	公开

共 50 条

[1]

高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法 [P].

王铁军 ;

林同伟 ;

周卫华 ;

刘国辉 ;

熊宁 ;

陈飞雄 ;

刘慧渊 .

中国专利 :CN103320756B ,2013-09-25

[2]

一种高纯度高致密度氧化镁靶材制备方法 [P].

刘洪福 ;

杨建新 ;

许博亮 ;

王浩 .

中国专利 :CN120965280A ,2025-11-18

[3]

一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法 [P].

王铁军 ;

林同伟 ;

周卫华 ;

王广达 ;

刘国辉 ;

熊宁 ;

陈飞雄 ;

徐克玷 .

中国专利 :CN103302295A ,2013-09-18

[4]

一种高致密度高纯度溅射旋转银靶材的制备方法 [P].

黄伟东 .

中国专利 :CN107267945A ,2017-10-20

[5]

高致密度AZO靶材及其制备方法 [P].

王铁军 ;

张凤戈 ;

唐培新 ;

高明 ;

张路长 ;

姚惠龙 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

孙右文 .

中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18

[6]

一种制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材的方法 [P].

崔玉青 ;

周莎 ;

席莎 ;

杨秦莉 ;

张晓 ;

朱琦 ;

李晶 .

中国专利 :CN112359333A ,2021-02-12

[7]

一种高致密度铝钛合金靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120989563A ,2025-11-21

[8]

一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P].

刘苗 ;

孙本双 ;

何季麟 ;

刘洋 ;

王之君 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN120817800A ,2025-10-21

[9]

一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P].

李召阳 ;

李彬 ;

李继文 ;

上官林建 ;

聂福全 ;

贾铁昆 ;

任二洲 ;

卢艳阳 ;

宋伟志 ;

牛一旭 ;

高雪 .

中国专利 :CN118324539A ,2024-07-12

[10]

一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115502403A ,2022-12-23

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