一种制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011163496.6

申请日：

2020-10-27

公开(公告)号：

CN112359333A

公开(公告)日：

2021-02-12

发明(设计)人：

崔玉青周莎席莎杨秦莉张晓朱琦李晶

申请人：

申请人地址：

710077 陕西省西安市高新区锦业一路88号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

涂秀清

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	公开	公开
2021-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20201027

共 50 条

[1]

高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法 [P].

王铁军 ;

林同伟 ;

周卫华 ;

刘国辉 ;

熊宁 ;

陈飞雄 ;

刘慧渊 .

中国专利 :CN103320756B ,2013-09-25

[2]

一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法 [P].

崔玉青 ;

席莎 ;

周莎 ;

朱琦 ;

张晓 ;

杨秦莉 ;

李晶 .

中国专利 :CN112359336A ,2021-02-12

[3]

一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115502403A ,2022-12-23

[4]

一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法 [P].

王铁军 ;

林同伟 ;

周卫华 ;

王广达 ;

刘国辉 ;

熊宁 ;

陈飞雄 ;

徐克玷 .

中国专利 :CN103302295A ,2013-09-18

[5]

一种氧化钼靶材的制备方法 [P].

周志宏 ;

杨永添 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN118495948A ,2024-08-16

[6]

一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

鄢波 .

中国专利 :CN120423869A ,2025-08-05

[7]

一种高致密超细晶大尺寸钼靶材的制备方法 [P].

阚金锋 ;

钟铭 ;

杨义兵 ;

李旺 ;

李阳 ;

董建英 ;

王广达 .

中国专利 :CN109778126B ,2019-05-21

[8]

一种高纯度高致密度氧化镁靶材制备方法 [P].

刘洪福 ;

杨建新 ;

许博亮 ;

王浩 .

中国专利 :CN120965280A ,2025-11-18

[9]

一种晶粒均匀高致密大尺寸钼靶材的制备方法 [P].

栾泽超 ;

娄佳 ;

马窦琴 ;

刘聪贤 ;

杨蝶 ;

闫艺文 ;

张有程 ;

张琦飞 ;

杨帆 ;

姬佳乐 ;

王振博 ;

朱汉逸 ;

刘振伟 ;

王文玉 ;

谢敬佩 ;

王爱琴 ;

王文焱 ;

陈艳芳 ;

赵海丽 .

中国专利 :CN118996351A ,2024-11-22

[10]

高致密度氧化锌基靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

高明 ;

唐培新 ;

张路长 ;

郝权 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

姜海 ;

姚伟 .

中国专利 :CN104416160B ,2015-03-18

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