高致密度氧化锌基靶材及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310412822.6
申请日
2013-09-11
公开(公告)号
CN104416160B
公开(公告)日
2015-03-18
发明(设计)人
张凤戈 高明 唐培新 张路长 郝权 缪磊 王江廷 姜海 姚伟
申请人
申请人地址
100081 北京市海淀区学院南路76号
IPC主分类号
B22F314
IPC分类号
代理机构
北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387
代理人
刘春成;张向琨
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
高致密度AZO靶材及其制备方法 [P]. 
王铁军 ;
张凤戈 ;
唐培新 ;
高明 ;
张路长 ;
姚惠龙 ;
缪磊 ;
王江廷 ;
孙右文 .
中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18
[2]
一种高致密度掺杂氧化锌靶材的制备装置 [P]. 
孙腾龙 ;
蔡沐之 .
中国专利 :CN120716001A ,2025-09-30
[3]
高致密细晶粒的氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
陈杰 ;
淮志远 ;
孙本双 ;
何季麟 .
中国专利 :CN113563063B ,2021-10-29
[4]
氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P]. 
雷雨 ;
许积文 ;
周志宏 ;
肖世洪 ;
周昭宇 ;
杨永添 .
中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18
[5]
一种掺杂氧化锌致密靶材及其制备方法 [P]. 
蔡沐之 ;
乔昂 ;
闫卫卫 ;
陈冠明 .
中国专利 :CN119822810A ,2025-04-15
[6]
一种氧化锌基靶材及其制备方法与应用 [P]. 
黎琦 ;
方宏 ;
冯海权 ;
蒙心钰 .
中国专利 :CN119954508A ,2025-05-09
[7]
一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法 [P]. 
张天舒 ;
宋晓超 ;
陈晨 ;
钱邦正 .
中国专利 :CN107010939A ,2017-08-04
[8]
高致密度钛基合金旋转靶材及其制备方法 [P]. 
张凤戈 ;
岳万祥 ;
魏铁峰 ;
张欠男 ;
孟晓亭 ;
缪磊 ;
高众 .
中国专利 :CN119876868A ,2025-04-25
[9]
一种高致密度PZT靶材及其制备方法 [P]. 
张元松 ;
褚涛 ;
王五松 ;
赵婉男 ;
张静 .
中国专利 :CN107445617A ,2017-12-08
[10]
一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P]. 
刘苗 ;
孙本双 ;
何季麟 ;
刘洋 ;
王之君 ;
陈杰 ;
曾学云 .
中国专利 :CN120817800A ,2025-10-21