一种高致密度掺杂氧化锌靶材的制备装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510878577.0

申请日：

2025-06-27

公开(公告)号：

CN120716001A

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

孙腾龙蔡沐之

申请人：

江苏东方硕华光学材料有限公司

申请人地址：

221400 江苏省徐州市新沂市双塘镇双创园南楼206

IPC主分类号：

B28B3/00

IPC分类号：

C04B35/453 C04B35/622 C04B35/64 C23C14/34 B28B3/04 B28B11/24 B28B17/02 B28B17/00 B24B19/22

代理机构：

北京盛询知识产权代理有限公司 11901

代理人：

刘佳

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	公开	公开
2025-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B28B 3/00申请日:20250627
2025-12-12	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):B28B 3/00申请公布日:20250930

共 50 条

[1]

高致密度氧化锌基靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

高明 ;

唐培新 ;

张路长 ;

郝权 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

姜海 ;

姚伟 .

中国专利 :CN104416160B ,2015-03-18

[2]

一种掺杂氧化锌致密靶材及其制备方法 [P].

蔡沐之 ;

乔昂 ;

闫卫卫 ;

陈冠明 .

中国专利 :CN119822810A ,2025-04-15

[3]

一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法 [P].

张天舒 ;

宋晓超 ;

陈晨 ;

钱邦正 .

中国专利 :CN107010939A ,2017-08-04

[4]

氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18

[5]

高致密细晶粒的氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法 [P].

陈杰 ;

淮志远 ;

孙本双 ;

何季麟 .

中国专利 :CN113563063B ,2021-10-29

[6]

一种掺杂氧化锌的高密度无铟靶材的烧结方法 [P].

唐智勇 ;

程波 .

中国专利 :CN119661201A ,2025-03-21

[7]

一种氧化锌铝靶材的制备方法 [P].

刘艺 .

中国专利 :CN117756518A ,2024-03-26

[8]

一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P].

刘苗 ;

孙本双 ;

何季麟 ;

刘洋 ;

王之君 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN120817800A ,2025-10-21

[9]

利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品 [P].

林杰 ;

张群 ;

邢俊鹏 ;

侯则良 .

中国专利 :CN103641468B ,2014-03-19

[10]

一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118955117A ,2024-11-15

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