一种ITO残靶回收方法及ITO靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510017798.9

申请日：

2025-01-06

公开(公告)号：

CN119954507A

公开(公告)日：

2025-05-09

发明(设计)人：

聂全义张亚博李帅刘仁宇蔡新志余芳李春生

申请人：

先导薄膜材料（江苏）有限公司

申请人地址：

221116 江苏省徐州市高新技术产业开发区同创路西、五环路北

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/626 C23C14/34

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

龚元元

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2025-05-09	公开	公开
2025-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20250106

共 50 条

[1]

一种ITO残靶回收方法及ITO靶材 [P].

聂全义 ;

张亚博 ;

李帅 ;

刘仁宇 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李春生 .

中国专利 :CN119954507B ,2025-10-17

[2]

一种ITO废靶回收方法 [P].

孔令鑫 ;

李桐 ;

杨斌 ;

徐宝强 ;

蒋文龙 ;

邓勇 .

中国专利 :CN120757140A ,2025-10-10

[3]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[4]

ITO靶材的制备方法 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113321490A ,2021-08-31

[5]

一种ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173817A ,2011-09-07

[6]

一种ITO靶材及其制备方法 [P].

黄田奇 ;

苏百樱 ;

张科 ;

林辉 .

中国专利 :CN111592339A ,2020-08-28

[7]

一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法 [P].

王政红 ;

张秀勤 ;

薛建强 ;

邢朋飞 .

中国专利 :CN101392362A ,2009-03-25

[8]

一种新型ITO靶材及其制备方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

梁盈祥 ;

张倍维 ;

宋春华 ;

黄作 ;

覃丽莉 ;

莫斌 .

中国专利 :CN117902893A ,2024-04-19

[9]

一种新型ITO靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

梁盈祥 ;

张倍维 ;

宋春华 ;

黄作 ;

覃丽莉 ;

莫斌 .

中国专利 :CN117902893B ,2025-12-09

[10]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN112592173A ,2021-04-02

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