一种ITO镀膜靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810636454.6

申请日：

2018-06-20

公开(公告)号：

CN108642458A

公开(公告)日：

2018-10-12

发明(设计)人：

包松养

申请人：

申请人地址：

212300 江苏省镇江市丹阳市金陵东路888号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-12	公开	公开
2018-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20180620
2020-06-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20181012

共 50 条

[1]

一种高纯度ITO靶材的制备方法 [P].

刘刚 ;

刘璎琪 ;

肖丹妮 .

中国专利 :CN110467454A ,2019-11-19

[2]

一种防水光学镀膜靶材及其制备方法 [P].

包松养 .

中国专利 :CN108610022A ,2018-10-02

[3]

一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法 [P].

包松养 .

中国专利 :CN108675788A ,2018-10-19

[4]

一种高密度ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 ;

曹立江 ;

王凤雷 ;

李丽娜 ;

乔向力 .

中国专利 :CN104909723A ,2015-09-16

[5]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN112592173A ,2021-04-02

[6]

一种ITO废靶回收再制备靶材及方法 [P].

杨秀田 ;

利镇升 ;

谢小林 ;

梁兆科 ;

甘宇 .

中国专利 :CN117776708A ,2024-03-29

[7]

稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法 [P].

王志强 ;

马建保 ;

林燕明 ;

曾墩风 ;

陶成 ;

毕荣锋 .

中国专利 :CN114032517A ,2022-02-11

[8]

一种低中毒率的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118164745A ,2024-06-11

[9]

一种低中毒率的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118164745B ,2024-07-05

[10]

一种ZMO靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

谭洪蕾 ;

林世洪 ;

盘君华 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN119569441A ,2025-03-07

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