一种低中毒率的ITO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410591815.5

申请日：

2024-05-14

公开(公告)号：

CN118164745A

公开(公告)日：

2024-06-11

发明(设计)人：

张兵曾墩风王志强曾探陈光园

申请人：

芜湖映日科技股份有限公司

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/08 C23C14/34

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

张凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省唐山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20240514
2024-07-05	授权	授权
2024-06-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种低中毒率的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118164745B ,2024-07-05

[2]

低电阻率ITO靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585831A ,2018-09-28

[3]

一种ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173817A ,2011-09-07

[4]

一种低电阻率ITO靶材的制备方法 [P].

张元松 ;

叶有明 ;

熊爱臣 ;

赵明勇 ;

谭翠 ;

韦成果 ;

樊繁 ;

徐灿辉 ;

叶仿建 .

中国专利 :CN105130416A ,2015-12-09

[5]

一种新型ITO靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

梁盈祥 ;

张倍维 ;

宋春华 ;

黄作 ;

覃丽莉 ;

莫斌 .

中国专利 :CN117902893B ,2025-12-09

[6]

ITO靶材的制备方法 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113321490A ,2021-08-31

[7]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[8]

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法 [P].

陆映东 ;

梁盈祥 ;

宋春华 ;

黄誓成 ;

张倍维 ;

黄作 ;

莫斌 ;

陆岱骏 ;

覃丽莉 .

中国专利 :CN118084480B ,2025-11-28

[9]

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法 [P].

陆映东 ;

梁盈祥 ;

宋春华 ;

黄誓成 ;

张倍维 ;

黄作 ;

莫斌 ;

陆岱骏 ;

覃丽莉 .

中国专利 :CN118084480A ,2024-05-28

[10]

一种ITO靶材及其制备方法 [P].

黄田奇 ;

苏百樱 ;

张科 ;

林辉 .

中国专利 :CN111592339A ,2020-08-28

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