低电阻率ITO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810753013.4

申请日：

2018-07-10

公开(公告)号：

CN108585831A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

章波郭元

申请人：

申请人地址：

238300 安徽省芜湖市无为县蜀山镇百胜社区

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B3564

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

苏友娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-28	公开	公开
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20180710

共 50 条

[1]

低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108516821A ,2018-09-11

[2]

氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28

[3]

一种低电阻率ITO靶材的制备方法 [P].

张元松 ;

叶有明 ;

熊爱臣 ;

赵明勇 ;

谭翠 ;

韦成果 ;

樊繁 ;

徐灿辉 ;

叶仿建 .

中国专利 :CN105130416A ,2015-12-09

[4]

高相对密度低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

刘家祥 ;

梁飞 ;

李敏 ;

雷文 .

中国专利 :CN105669186A ,2016-06-15

[5]

一种低电阻率ITO靶材粉末的成型方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN112695286A ,2021-04-23

[6]

一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法 [P].

宋晓超 ;

孔令兵 ;

张天舒 ;

陈晨 ;

钱邦正 .

中国专利 :CN107140972A ,2017-09-08

[7]

高密度低电阻率ZTO靶材的制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

于庆萍 .

中国专利 :CN120590159A ,2025-09-05

[8]

一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法 [P].

张天舒 ;

宋晓超 ;

蒋卫国 ;

钱邦正 .

中国专利 :CN107130217A ,2017-09-05

[9]

一种低中毒率的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118164745A ,2024-06-11

[10]

一种低中毒率的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118164745B ,2024-07-05

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