一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710405569.X

申请日：

2017-06-01

公开(公告)号：

CN107130217A

公开(公告)日：

2017-09-05

发明(设计)人：

张天舒宋晓超蒋卫国钱邦正

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区文忠路999号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1408 C04B3501 C04B35622 C04B3564

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

张清彦

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-05	公开	公开
2019-02-19	授权	授权
2017-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101750780694 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:201710405569X 申请日:20170601

共 50 条

[1]

一种高密度ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 ;

曹立江 ;

王凤雷 ;

李丽娜 ;

乔向力 .

中国专利 :CN104909723A ,2015-09-16

[2]

高密度ITO靶材的制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN114773052A ,2022-07-22

[3]

一种注浆成型高密度ITO靶材的制备方法 [P].

张天舒 ;

宋晓超 ;

蒋卫国 ;

钱邦正 .

中国专利 :CN107226680A ,2017-10-03

[4]

高密度ITO靶材的制备方法 [P].

黄岩 ;

丁迎春 ;

钱政宇 .

中国专利 :CN108911707A ,2018-11-30

[5]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN110818404A ,2020-02-21

[6]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN120097721A ,2025-06-06

[7]

高密度ITO靶材及其制造方法 [P].

徐华蕊 ;

廖春图 ;

周怀营 ;

胡林轩 ;

刘心宇 .

中国专利 :CN1528945A ,2004-09-15

[8]

一种高密度ITO靶材的制备方法 [P].

朱归胜 ;

龙神峰 ;

徐华蕊 ;

赵昀云 .

中国专利 :CN113461420A ,2021-10-01

[9]

一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法 [P].

宋晓超 ;

孔令兵 ;

张天舒 ;

陈晨 ;

钱邦正 .

中国专利 :CN107140972A ,2017-09-08

[10]

高纯高密度ITO靶材的制备方法 [P].

钟小华 ;

麻七克 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN105712703A ,2016-06-29

← 1 2 3 4 5 →