氧化铟锡靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810753570.6

申请日：

2018-07-10

公开(公告)号：

CN108585832A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

章波郭元

申请人：

申请人地址：

238300 安徽省芜湖市无为县蜀山镇百胜社区

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B35622 C04B3564 C23C1435 C23C1408

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

苏友娟

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C04B 35/457 申请公布日:20180928
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20180710
2018-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108516821A ,2018-09-11

[2]

低电阻率ITO靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585831A ,2018-09-28

[3]

氧化铟锡靶材浆料的制备方法 [P].

柴卫平 .

中国专利 :CN102013279B ,2012-02-22

[4]

高相对密度低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

刘家祥 ;

梁飞 ;

李敏 ;

雷文 .

中国专利 :CN105669186A ,2016-06-15

[5]

单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法 [P].

刘家祥 ;

刘宸 ;

王玥 .

中国专利 :CN101812665A ,2010-08-25

[6]

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

何建进 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103274699A ,2013-09-04

[7]

低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 ;

杨淑敏 ;

刘洋 ;

梁鹏 ;

赵旭 ;

齐超 ;

张雨 ;

仇晨 .

中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22

[8]

氧化铟锡钽靶材的制备方法 [P].

刘文杰 ;

钟小华 ;

童培云 .

中国专利 :CN112110721B ,2020-12-22

[9]

氧化铟锡靶材的超低温制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN109279873B ,2019-01-29

[10]

氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法 [P].

曾纪术 ;

胡明振 ;

吴伯增 ;

陈锦全 ;

陈进中 ;

熊爱臣 ;

陈良武 ;

张元松 ;

谭翠 .

中国专利 :CN103922703B ,2014-07-16

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