氧化铟锡靶材浆料的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010272766.7
申请日
2010-09-03
公开(公告)号
CN102013279B
公开(公告)日
2012-02-22
发明(设计)人
柴卫平
申请人
申请人地址
116028 辽宁省大连市黄河路794号383信箱
IPC主分类号
H01B108
IPC分类号
H01B1300 C23C1434
代理机构
大连东方专利代理有限责任公司 21212
代理人
贾汉生
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
氧化铟锡靶材的制备方法 [P]. 
章波 ;
郭元 .
中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28
[2]
低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P]. 
孙本双 ;
何季麟 ;
舒永春 ;
曾学云 ;
陈杰 ;
李庆奎 ;
杨淑敏 ;
刘洋 ;
梁鹏 ;
赵旭 ;
齐超 ;
张雨 ;
仇晨 .
中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22
[3]
氧化铟锡钽靶材的制备方法 [P]. 
刘文杰 ;
钟小华 ;
童培云 .
中国专利 :CN112110721B ,2020-12-22
[4]
低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P]. 
章波 ;
郭元 .
中国专利 :CN108516821A ,2018-09-11
[5]
氧化铟锡靶材的超低温制备方法 [P]. 
孙本双 ;
何季麟 ;
舒永春 ;
陈杰 ;
曾学云 .
中国专利 :CN109279873B ,2019-01-29
[6]
氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法 [P]. 
曾纪术 ;
胡明振 ;
吴伯增 ;
陈锦全 ;
陈进中 ;
熊爱臣 ;
陈良武 ;
张元松 ;
谭翠 .
中国专利 :CN103922703B ,2014-07-16
[7]
一种氧化铟锡靶材的生产方法 [P]. 
王悦林 .
中国专利 :CN101319307B ,2008-12-10
[8]
一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P]. 
方志杰 ;
莫曼 ;
谭泽旦 ;
姜峰 ;
黄誓成 ;
王凯 ;
曾纪术 ;
王永清 .
中国专利 :CN118495924A ,2024-08-16
[9]
一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P]. 
方志杰 ;
莫曼 ;
谭泽旦 ;
姜峰 ;
黄誓成 ;
王凯 ;
曾纪术 ;
王永清 .
中国专利 :CN118495924B ,2025-06-10
[10]
高相对密度低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P]. 
刘家祥 ;
梁飞 ;
李敏 ;
雷文 .
中国专利 :CN105669186A ,2016-06-15