氧化铟锡靶材的超低温制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811390845.0

申请日：

2018-11-21

公开(公告)号：

CN109279873B

公开(公告)日：

2019-01-29

发明(设计)人：

孙本双何季麟舒永春陈杰曾学云

申请人：

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C04B3501 C04B35622 C04B35626

代理机构：

北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557

代理人：

朱春野

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-29	公开	公开
2019-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20181121
2021-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 ;

杨淑敏 ;

刘洋 ;

梁鹏 ;

赵旭 ;

齐超 ;

张雨 ;

仇晨 .

中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22

[2]

氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28

[3]

氧化铟锡靶材浆料的制备方法 [P].

柴卫平 .

中国专利 :CN102013279B ,2012-02-22

[4]

一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

陈杰 ;

曾学云 ;

李庆奎 .

中国专利 :CN108516820B ,2018-09-11

[5]

氧化铟锡钽靶材的制备方法 [P].

刘文杰 ;

钟小华 ;

童培云 .

中国专利 :CN112110721B ,2020-12-22

[6]

一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法 [P].

孙本双 ;

陈杰 ;

曾学云 ;

舒永春 ;

何季麟 .

中国专利 :CN108623298A ,2018-10-09

[7]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924A ,2024-08-16

[8]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924B ,2025-06-10

[9]

氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法 [P].

曾纪术 ;

胡明振 ;

吴伯增 ;

陈锦全 ;

陈进中 ;

熊爱臣 ;

陈良武 ;

张元松 ;

谭翠 .

中国专利 :CN103922703B ,2014-07-16

[10]

氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114059025A ,2022-02-18

← 1 2 3 4 5 →