氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010756012.2

申请日：

2020-07-31

公开(公告)号：

CN114059025A

公开(公告)日：

2022-02-18

发明(设计)人：

雷雨许积文周志宏肖世洪周昭宇杨永添

申请人：

申请人地址：

510880 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1408 C04B3501 C04B35622 C04B35626

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

尚志峰;王淑梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200731
2022-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

掺杂钼的氧化铟靶材制备方法和掺杂钼的氧化铟靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057470A ,2022-02-18

[2]

靶材制备方法和靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057471A ,2022-02-18

[3]

铟锡氧化物靶材的制备方法 [P].

龚鸣明 ;

刘朗明 ;

肖卫军 ;

彭小苏 .

中国专利 :CN1453392A ,2003-11-05

[4]

低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 ;

杨淑敏 ;

刘洋 ;

梁鹏 ;

赵旭 ;

齐超 ;

张雨 ;

仇晨 .

中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22

[5]

氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18

[6]

一种制备新型导电氧化铟靶材及氧化铟薄膜的方法 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN103205708A ,2013-07-17

[7]

一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30

[8]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

谢佳琦 ;

卿小斐 ;

何小山 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李帅 ;

王呈 .

中国专利 :CN119751020B ,2025-10-17

[9]

一种氧化铟钨靶材及其制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118307297A ,2024-07-09

[10]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

谢佳琦 ;

卿小斐 ;

何小山 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李帅 ;

王呈 .

中国专利 :CN119751020A ,2025-04-04

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