靶材制备方法和靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010755982.0

申请日：

2020-07-31

公开(公告)号：

CN114057471A

公开(公告)日：

2022-02-18

发明(设计)人：

雷雨许积文周志宏肖世洪周昭宇杨永添

申请人：

申请人地址：

510880 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35622 C04B35626 B28B300 C04B3564

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

尚志峰;王淑梅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-18	公开	公开
2022-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20200731

共 50 条

[1]

氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114059025A ,2022-02-18

[2]

氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18

[3]

复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法 [P].

黄小军 ;

诸斌 ;

顾宗慧 ;

庄志杰 ;

周钧 ;

庄猛 .

中国专利 :CN108559959A ,2018-09-21

[4]

靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111636056A ,2020-09-08

[5]

靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111636053A ,2020-09-08

[6]

一种靶材的制备方法 [P].

李喜峰 ;

杨祥 ;

姜姝 ;

潘成超 ;

蒋文亚 ;

李阿杰 ;

谈艳阳 .

中国专利 :CN109207947A ,2019-01-15

[7]

ZnSn合金靶材及其制备方法 [P].

张玉玲 ;

甘志俭 .

中国专利 :CN113308672A ,2021-08-27

[8]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[9]

ITiO旋转靶材及其制备方法 [P].

甘志俭 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

庄猛 ;

杨斌 .

中国专利 :CN111233440A ,2020-06-05

[10]

掺杂钼的氧化铟靶材制备方法和掺杂钼的氧化铟靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057470A ,2022-02-18

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