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复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810030329.0
申请日：
2018-01-12
公开(公告)号：
CN108559959A
公开(公告)日：
2018-09-21
发明(设计)人：
黄小军
诸斌
顾宗慧
庄志杰
周钧
庄猛
申请人：
申请人地址：
215200 江苏省苏州市吴江区汾湖高新区汾杨路东侧
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
唐清凯
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-09-21 | 公开 | 公开 |
| 2018-10-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20180112 |
| 2021-07-16 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20180921 |