靶材的制造方法和靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911367972.3

申请日：

2019-12-26

公开(公告)号：

CN111018515A

公开(公告)日：

2020-04-17

发明(设计)人：

雷雨肖世洪周昭宇赵明增汪政军杨永添何青青

申请人：

申请人地址：

510880 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C04B35453

IPC分类号：

C04B35622 C03C1723

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

汪海屏;王淑梅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-17	公开	公开
2020-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/453 申请日:20191226

共 50 条

[1]

复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法 [P].

黄小军 ;

诸斌 ;

顾宗慧 ;

庄志杰 ;

周钧 ;

庄猛 .

中国专利 :CN108559959A ,2018-09-21

[2]

AZO靶材的制备方法及AZO靶材 [P].

孔伟华 ;

董冬青 .

中国专利 :CN109280877A ,2019-01-29

[3]

溅镀靶材的制造方法 [P].

卢信冲 ;

谢志铭 ;

陈逸杰 ;

萧成远 ;

徐国书 .

中国专利 :CN101045986A ,2007-10-03

[4]

氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18

[5]

一种氧化锌钛钇粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

张兴宇 ;

罗斯诗 .

中国专利 :CN117185798B ,2025-10-17

[6]

一种钇掺杂的AZO靶材及其制备方法 [P].

张珂 ;

胡茂横 ;

王会文 .

中国专利 :CN101580384B ,2009-11-18

[7]

一种提高靶材利用率的靶材结构 [P].

丁杰 ;

陈云飞 .

中国专利 :CN203546138U ,2014-04-16

[8]

一种ZTO靶材及其制备方法 [P].

侯宇航 ;

周贤界 ;

徐红星 ;

关泽汉 ;

卢晓鹏 .

中国专利 :CN116751032B ,2024-07-02

[9]

靶材结构的制作方法 [P].

潘杰 ;

姚力军 ;

王学泽 ;

潘靖 .

中国专利 :CN102586742B ,2012-07-18

[10]

靶材结构的制作方法 [P].

潘杰 ;

姚力军 ;

王学泽 ;

潘靖 .

中国专利 :CN102383099B ,2012-03-21

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