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一种复合金属氧化物靶材材料及其加工方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910254451.0
申请日：
2019-03-31
公开(公告)号：
CN109881172A
公开(公告)日：
2019-06-14
发明(设计)人：
黎品英 谢元鸣 梁莉丝
申请人：
申请人地址：
545616 广西壮族自治区柳州市官塘大道52号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C22C2912 C22C105 C22C110
代理机构：
广州凯东知识产权代理有限公司 44259
代理人：
李勤辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-06-14 公开 公开
2022-01-28 发明专利申请公布后的驳回 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20190614
2019-07-09 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190331
共 50 条
[1]
复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜 [P]. 
刘燕妮 ;
朱旭山 .
中国专利 :CN110697783A ,2020-01-17
[2]
复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法 [P]. 
黄小军 ;
诸斌 ;
顾宗慧 ;
庄志杰 ;
周钧 ;
庄猛 .
中国专利 :CN108559959A ,2018-09-21
[3]
一种复合金属氧化物靶材及其制备方法和应用 [P]. 
韩灿 ;
杨赞禾 ;
黎沛 ;
何文杰 ;
陈茵芝 ;
高平奇 .
中国专利 :CN120555962A ,2025-08-29
[4]
复合金属氧化物材料 [P]. 
H·海伯斯特 ;
A·谭坦 ;
L·马罗希 .
中国专利 :CN1146439A ,1997-04-02
[5]
一种复合金属氧化物靶材、制备方法及其原料处理装置 [P]. 
张文忠 ;
张洪宁 ;
李灿涛 .
中国专利 :CN120622923A ,2025-09-12
[6]
复合金属氧化物半导体材料及其制备方法 [P]. 
董汉鹏 ;
孔祥霞 ;
张威 .
中国专利 :CN1328208C ,2005-11-09
[7]
复合金属氧化物储热材料及其制备方法 [P]. 
肖刚 ;
秦望 .
中国专利 :CN115710489B ,2025-08-08
[8]
复合金属氧化物软磁材料及其制备方法 [P]. 
辛草 .
中国专利 :CN106531390A ,2017-03-22
[9]
一种复合金属氧化物气敏材料及其制备方法 [P]. 
何静 ;
徐紫凤 ;
安哲 .
中国专利 :CN102786071B ,2012-11-21
[10]
复合金属氧化物 [P]. 
高畑晴美 ;
安藤晃 ;
岩本祯士 .
日本专利 :CN117500754A ,2024-02-02
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