一种复合金属氧化物靶材、制备方法及其原料处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510845583.6

申请日：

2025-06-23

公开(公告)号：

CN120622923A

公开(公告)日：

2025-09-12

发明(设计)人：

张文忠张洪宁李灿涛

申请人：

潍坊卓宇新材料科技有限公司

申请人地址：

261000 山东省潍坊市临朐县冶源镇冶西村

IPC主分类号：

C04B35/505

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/08 C23C14/34 B02C18/14 B02C23/16

代理机构：

北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738

代理人：

任文丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山东省潍坊市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/505申请日:20250623
2025-09-12	公开	公开

共 50 条

[1]

复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜 [P].

刘燕妮 ;

朱旭山 .

中国专利 :CN110697783A ,2020-01-17

[2]

一种复合金属氧化物靶材及其制备方法和应用 [P].

韩灿 ;

杨赞禾 ;

黎沛 ;

何文杰 ;

陈茵芝 ;

高平奇 .

中国专利 :CN120555962A ,2025-08-29

[3]

复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法 [P].

黄小军 ;

诸斌 ;

顾宗慧 ;

庄志杰 ;

周钧 ;

庄猛 .

中国专利 :CN108559959A ,2018-09-21

[4]

一种复合金属氧化物靶材材料及其加工方法 [P].

黎品英 ;

谢元鸣 ;

梁莉丝 .

中国专利 :CN109881172A ,2019-06-14

[5]

一种复合金属氧化物及其制备方法 [P].

方送生 .

中国专利 :CN101088918A ,2007-12-19

[6]

复合金属氧化物、原料组合物及其制备方法和应用 [P].

杨东元 ;

扈广法 ;

孙育滨 .

中国专利 :CN112206776A ,2021-01-12

[7]

复合金属氧化物颗粒及其制备方法 [P].

金钟优 ;

柳昌锡 ;

金钧中 ;

任上赫 ;

崔光郁 .

中国专利 :CN106715331A ,2017-05-24

[8]

一种复合金属氧化物及其制备方法、应用 [P].

王宇 ;

曹蔚然 .

中国专利 :CN109817813B ,2019-05-28

[9]

一种锂复合金属氧化物及其制备方法 [P].

张茸茸 ;

罗桂 ;

谭欣欣 ;

杨倩 .

中国专利 :CN118198348A ,2024-06-14

[10]

复合金属氧化物用原料组合物 [P].

木岛健 ;

滨田泰彰 ;

上野真由美 .

中国专利 :CN1990419A ,2007-07-04

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