一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810722391.6

申请日：

2018-07-04

公开(公告)号：

CN108623298A

公开(公告)日：

2018-10-09

发明(设计)人：

孙本双陈杰曾学云舒永春何季麟

申请人：

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B3564

代理机构：

北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557

代理人：

唐维铁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-09	公开	公开
2018-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20180704

共 50 条

[1]

一种高密度氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

盖伟 ;

段静芳 ;

李玉新 ;

古建国 .

中国专利 :CN102180653A ,2011-09-14

[2]

一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

陈杰 ;

曾学云 ;

李庆奎 .

中国专利 :CN108516820B ,2018-09-11

[3]

低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 ;

杨淑敏 ;

刘洋 ;

梁鹏 ;

赵旭 ;

齐超 ;

张雨 ;

仇晨 .

中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22

[4]

氧化铟锡靶材的超低温制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN109279873B ,2019-01-29

[5]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN110818404A ,2020-02-21

[6]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN120097721A ,2025-06-06

[7]

不同比表面积氧化铟制备高密度旋转ITO靶材的方法 [P].

武炳 ;

马建保 ;

曾墩风 ;

徐军伟 ;

王志强 .

中国专利 :CN119874333A ,2025-04-25

[8]

一种梯度烧结制备高密度钼靶材的方法 [P].

张石明 ;

车玉思 ;

张环 ;

赵转 ;

卫玉卓 ;

陈熠 ;

阚婷 .

中国专利 :CN120362476A ,2025-07-25

[9]

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

何建进 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103274699A ,2013-09-04

[10]

一种高密度铟锡锌氧化物溅射靶材的制备方法 [P].

刘洋 ;

孙本双 ;

赵合涛 ;

刘笑开 ;

刘苗 ;

王之君 ;

何季麟 .

中国专利 :CN119143498A ,2024-12-17

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