学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

组合物和使用其沉积含硅膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111363990.1
申请日：
2017-02-22
公开(公告)号：
CN114231947A
公开(公告)日：
2022-03-25
发明(设计)人：
李建恒 雷新建 R·N·弗蒂斯 R·G·里德格韦 D·西纳托雷 萧满超
申请人：
申请人地址：
美国亚利桑那州
IPC主分类号：
C23C1640
IPC分类号：
C23C1634 C23C1632 C23C1636 C23C1630 C23C1650 C23C16505 C23C1656 H01L2102
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
吴亦华;吕小羽
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-25 公开 公开
2022-04-12 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/40 申请日:20170222
共 50 条
[1]
组合物和使用其沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 ;
D·西纳托雷 ;
萧满超 .
中国专利 :CN109072426B ,2018-12-21
[2]
组合物和使用该组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 .
中国专利 :CN114174553A ,2022-03-11
[3]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
J·F·莱曼 ;
雷新建 ;
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 ;
W·R·恩特莱 .
中国专利 :CN113373428A ,2021-09-10
[4]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
J·F·莱曼 ;
雷新建 ;
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 ;
W·R·恩特莱 .
中国专利 :CN107429391A ,2017-12-01
[5]
用于沉积含硅膜的组合物及使用其的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·G·里德格韦 ;
R·N·弗蒂斯 ;
萧满超 ;
R·何 .
中国专利 :CN114016001A ,2022-02-08
[6]
用于沉积含硅膜的组合物及使用其的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·G·里德格韦 ;
R·N·弗蒂斯 ;
萧满超 ;
R·何 .
中国专利 :CN108603287B ,2018-09-28
[7]
用于沉积含硅膜的组合物及其使用方法 [P]. 
R·G·里奇韦 ;
R·N·维蒂斯 ;
M·B·拉奥 .
中国专利 :CN112292479A ,2021-01-29
[8]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
M·R·麦克唐纳 ;
萧满超 .
中国专利 :CN107257867A ,2017-10-17
[9]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
M·R·麦克唐纳 ;
萧满超 .
中国专利 :CN113025992A ,2021-06-25
[10]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
M·R·麦克唐纳 ;
萧满超 .
美国专利 :CN113025992B ,2024-02-02
12345