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组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110661668.0
申请日：
2015-10-23
公开(公告)号：
CN113373428A
公开(公告)日：
2021-09-10
发明(设计)人：
李建恒 J·F·莱曼 雷新建 R·N·弗蒂斯 R·G·里德格韦 W·R·恩特莱
申请人：
申请人地址：
美国亚利桑那州
IPC主分类号：
C23C1634
IPC分类号：
C23C1636 C23C1640 C23C1650
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
吴亦华;徐一琨
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-09-28 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20151023
2021-09-10 公开 公开
共 50 条
[1]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
J·F·莱曼 ;
雷新建 ;
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 ;
W·R·恩特莱 .
中国专利 :CN107429391A ,2017-12-01
[2]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
M·R·麦克唐纳 ;
萧满超 .
中国专利 :CN107257867A ,2017-10-17
[3]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
M·R·麦克唐纳 ;
萧满超 .
美国专利 :CN113025992B ,2024-02-02
[4]
组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
M·R·麦克唐纳 ;
萧满超 .
中国专利 :CN113025992A ,2021-06-25
[5]
组合物和使用该组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 .
中国专利 :CN114174553A ,2022-03-11
[6]
硅氧烷组合物和使用该组合物沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·N·维蒂斯 ;
R·G·里奇韦 .
中国专利 :CN112334597A ,2021-02-05
[7]
组合物和使用其沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 ;
D·西纳托雷 ;
萧满超 .
中国专利 :CN109072426B ,2018-12-21
[8]
组合物和使用其沉积含硅膜的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·N·弗蒂斯 ;
R·G·里德格韦 ;
D·西纳托雷 ;
萧满超 .
中国专利 :CN114231947A ,2022-03-25
[9]
用于沉积含硅膜的组合物及使用其的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·G·里德格韦 ;
R·N·弗蒂斯 ;
萧满超 ;
R·何 .
中国专利 :CN114016001A ,2022-02-08
[10]
用于沉积含硅膜的组合物及使用其的方法 [P]. 
李建恒 ;
雷新建 ;
R·G·里德格韦 ;
R·N·弗蒂斯 ;
萧满超 ;
R·何 .
中国专利 :CN108603287B ,2018-09-28
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