硅氧烷组合物和使用该组合物沉积含硅膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980039882.3

申请日：

2019-06-16

公开(公告)号：

CN112334597A

公开(公告)日：

2021-02-05

发明(设计)人：

李建恒雷新建 R·N·维蒂斯 R·G·里奇韦

申请人：

申请人地址：

美国亚利桑那州

IPC主分类号：

C23C1630

IPC分类号：

C23C1640 C23C16448 C23C1656 C23C1648 C23C1604 H01L2102

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华;徐志明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/30 申请日:20190616
2021-02-05	公开	公开

共 50 条

[1]

组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P].

李建恒 ;

J·F·莱曼 ;

雷新建 ;

R·N·弗蒂斯 ;

R·G·里德格韦 ;

W·R·恩特莱 .

中国专利 :CN107429391A ,2017-12-01

[2]

组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P].

李建恒 ;

J·F·莱曼 ;

雷新建 ;

R·N·弗蒂斯 ;

R·G·里德格韦 ;

W·R·恩特莱 .

中国专利 :CN113373428A ,2021-09-10

[3]

硅氧烷组合物和制备该硅氧烷组合物的方法 [P].

张原志成 ;

朱弼忠 .

中国专利 :CN102272231B ,2011-12-07

[4]

组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

M·R·麦克唐纳 ;

萧满超 .

中国专利 :CN107257867A ,2017-10-17

[5]

组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

M·R·麦克唐纳 ;

萧满超 .

中国专利 :CN113025992A ,2021-06-25

[6]

组合物和使用所述组合物沉积含硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

M·R·麦克唐纳 ;

萧满超 .

美国专利 :CN113025992B ,2024-02-02

[7]

组合物和使用该组合物沉积含硅膜的方法 [P].

R·N·弗蒂斯 ;

R·G·里德格韦 .

中国专利 :CN114174553A ,2022-03-11

[8]

含硅氧烷的成膜组合物 [P].

G·凯尔格森 ;

J-L·加罗 ;

X·托马 .

中国专利 :CN101945950A ,2011-01-12

[9]

硅氧烷组合物和使用硅氧烷组合物的清洁方法 [P].

乔恩·P·尼特费尔德 .

中国专利 :CN109328228B ,2019-02-12

[10]

含硅氧烷的组合物 [P].

M·莫哈米德 .

中国专利 :CN101631813A ,2010-01-20

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