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一种半导体尾气洗涤塔

被引：0
申请号：
CN202222091807.3
申请日：
2022-08-09
公开(公告)号：
CN218358233U
公开(公告)日：
2023-01-24
发明(设计)人：
张蓬成
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区车墩镇泖亭路1132号2幢2层
IPC主分类号：
B01D4714
IPC分类号：
B01D5318 F16H3712
代理机构：
上海索源知识产权代理有限公司 31431
代理人：
李燕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-24 授权 授权
共 50 条
[1]
尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备 [P]. 
曹兴龙 .
中国专利 :CN212068182U ,2020-12-04
[2]
一种半导体尾气处理滤桶 [P]. 
张蓬成 .
中国专利 :CN218358096U ,2023-01-24
[3]
尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备 [P]. 
曹兴龙 .
中国专利 :CN113577956A ,2021-11-02
[4]
一种半导体制造设备尾气洗涤塔 [P]. 
洪协庆 .
中国专利 :CN120502218A ,2025-08-19
[5]
一种半导体制造设备尾气洗涤塔 [P]. 
洪协庆 .
中国专利 :CN120502218B ,2025-09-19
[6]
一种半导体厂房用洗涤塔 [P]. 
王宁 ;
吴凯龙 ;
许颖超 ;
刘增树 .
中国专利 :CN116139681B ,2024-09-17
[7]
一种尾气洗涤塔 [P]. 
应韵进 ;
陈建华 ;
蓝江煌 ;
吕田明 .
中国专利 :CN220370767U ,2024-01-23
[8]
一种尾气洗涤塔 [P]. 
杨理 ;
宋国全 ;
肖强 .
中国专利 :CN205760342U ,2016-12-07
[9]
一种尾气洗涤塔 [P]. 
姚永强 .
中国专利 :CN205386401U ,2016-07-20
[10]
一种尾气洗涤塔 [P]. 
潘洪明 .
中国专利 :CN221771922U ,2024-09-27
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