一种半导体制造设备尾气洗涤塔

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511006468.6

申请日：

2025-07-22

公开(公告)号：

CN120502218B

公开(公告)日：

2025-09-19

发明(设计)人：

洪协庆

申请人：

江苏晨达半导体科技有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市通州湾示范区钱塘江路南、南海路东

IPC主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D53/18 B08B7/02

代理机构：

南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 32606

代理人：

顾新民

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省南通市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 53/78申请日:20250722
2025-08-19	公开	公开
2025-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体制造设备尾气洗涤塔 [P].

洪协庆 .

中国专利 :CN120502218A ,2025-08-19

[2]

半导体制造设备、半导体制造方法 [P].

宓晓宇 ;

高桥岳雄 .

中国专利 :CN119920738A ,2025-05-02

[3]

半导体制造设备及半导体制造方法 [P].

林含谕 ;

詹易叡 ;

李芳苇 ;

林立德 ;

林斌彦 ;

林执中 .

中国专利 :CN110323151B ,2019-10-11

[4]

半导体制造设备及半导体制造方法 [P].

李华 .

中国专利 :CN111952139A ,2020-11-17

[5]

半导体制造设备 [P].

陈维宁 ;

巫凯雄 .

中国专利 :CN110970293A ,2020-04-07

[6]

半导体制造设备 [P].

邓宪哲 ;

林进富 ;

吴俊元 .

中国专利 :CN1779902A ,2006-05-31

[7]

半导体制造设备 [P].

王博汉 ;

余振华 ;

郭宏瑞 ;

胡毓祥 .

中国专利 :CN112180687A ,2021-01-05

[8]

半导体制造设备 [P].

王立廷 ;

陈俊仁 ;

游明华 ;

杨育佳 .

中国专利 :CN115376965A ,2022-11-22

[9]

半导体制造设备 [P].

不公告设计人 .

中国专利 :CN307517205S ,2022-08-26

[10]

半导体制造设备 [P].

山田惠三 ;

辻出徹 .

中国专利 :CN1294410A ,2001-05-09

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