半导体热处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321690464.0

申请日：

2023-06-29

公开(公告)号：

CN220304233U

公开(公告)日：

2024-01-05

发明(设计)人：

程硕卢翌孙妍史小平

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

F27B17/00

IPC分类号：

F27D19/00 F27D99/00

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体热处理设备 [P].

安志强 ;

温学伟 .

中国专利 :CN119852215A ,2025-04-18

[2]

半导体热处理设备 [P].

高尚 ;

黄敏涛 ;

杨帅 .

中国专利 :CN221201091U ,2024-06-21

[3]

半导体热处理设备的夹持机构及半导体热处理设备 [P].

王若琛 ;

黄敏涛 .

中国专利 :CN216624242U ,2022-05-27

[4]

半导体热处理设备的反应腔室及半导体热处理设备 [P].

杨慧萍 ;

杨帅 .

中国专利 :CN211320054U ,2020-08-21

[5]

半导体热处理设备 [P].

孙妍 ;

刘科学 ;

吴艳华 ;

位思梦 ;

李元志 ;

郭信鸽 .

中国专利 :CN114156210A ,2022-03-08

[6]

半导体热处理设备 [P].

张强 .

中国专利 :CN223193772U ,2025-08-05

[7]

半导体热处理设备 [P].

宋新丰 .

中国专利 :CN115692239A ,2023-02-03

[8]

半导体热处理设备 [P].

张强 .

中国专利 :CN223193773U ,2025-08-05

[9]

半导体热处理设备 [P].

任攀 .

中国专利 :CN114883221A ,2022-08-09

[10]

半导体热处理设备 [P].

任攀 ;

武鹏科 .

中国专利 :CN113186514A ,2021-07-30

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