氧化物烧结体及其制造方法以及溅射靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280043590.9

申请日：

2022-07-01

公开(公告)号：

CN117529574A

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

深川功児

申请人：

三井金属矿业株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李恩华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	公开	公开
2024-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20220701

共 50 条

[1]

氧化物烧结体、溅射靶以及溅射靶的制造方法 [P].

海上晓 .

中国专利 :CN113677821A ,2021-11-19

[2]

氧化物烧结体及溅射靶材 [P].

宇都野太 ;

井上一吉 ;

川岛浩和 ;

笠见雅司 ;

矢野公规 ;

寺井恒太 .

中国专利 :CN102159517B ,2011-08-17

[3]

氧化物烧结体溅射靶及其制造方法 [P].

高桥一寿 ;

日高浩二 ;

川越裕 ;

武末健太郎 ;

和田优 ;

上野充 ;

清田淳也 ;

小林大士 ;

武井应树 .

中国专利 :CN108350564A ,2018-07-31

[4]

复合氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、以及氧化物透明导电膜及其制造方法 [P].

仓持豪人 ;

饭草仁志 ;

涩田见哲夫 .

中国专利 :CN103140454A ,2013-06-05

[5]

氧化物烧结体和溅射靶、以及其制造方法 [P].

田尾幸树 ;

广濑研太 ;

慈幸范洋 ;

越智元隆 .

中国专利 :CN105246855A ,2016-01-13

[6]

氧化物烧结体及溅射靶、以及其制造方法 [P].

武富雄一 ;

田尾幸树 ;

金丸守贺 ;

坂井健二 ;

长谷山秀悦 ;

菊山英志 .

中国专利 :CN104204283A ,2014-12-10

[7]

氧化物烧结体以及溅射靶 [P].

井上一吉 ;

笘井重和 ;

柴田雅敏 ;

竹岛基浩 .

中国专利 :CN109311756B ,2019-02-05

[8]

氧化物烧结体及溅射靶、以及其制造方法 [P].

田尾幸树 ;

畠英雄 ;

南部旭 ;

金丸守贺 .

中国专利 :CN104619674A ,2015-05-13

[9]

氧化物烧结体、溅射靶及溅射靶的制造方法 [P].

海上晓 .

中国专利 :CN113423860A ,2021-09-21

[10]

氧化物烧结体和溅射靶、及其制造方法 [P].

田尾幸树 ;

中根靖夫 ;

畠英雄 .

中国专利 :CN109071361B ,2018-12-21

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