共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片清洗机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321959640.6
申请日：
2023-07-25
公开(公告)号：
CN220290767U
公开(公告)日：
2024-01-02
发明(设计)人：
夏燕钦
陈运生
洪波
申请人：
杭州循泽半导体设备有限公司
申请人地址：
310008 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块3号2幢2201室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
B08B3/02
B08B13/00
F26B21/00
代理机构：
北京亿知臻成专利代理事务所(普通合伙) 16123
代理人：
王世杰
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-02 | 授权 | 授权 |