亚表面缺陷检测系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410103213.0

申请日：

2024-01-24

公开(公告)号：

CN118111994A

公开(公告)日：

2024-05-31

发明(设计)人：

廖常锐汪发美王义平

申请人：

深圳大学

申请人地址：

518061 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号

IPC主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/39 G01N21/01

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

王永文

法律状态：

公开

国省代码：

广东省佛山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-31	公开	公开
2024-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/88申请日:20240124

共 50 条

[1]

一种光学元件亚表面缺陷检测方法及检测系统 [P].

刘勇 .

中国专利 :CN104568982B ,2015-04-29

[2]

表面缺陷检测方法及表面缺陷检测系统 [P].

曹文 ;

龙攀城 ;

丁玲玲 ;

付翱 .

中国专利 :CN115575399A ,2023-01-06

[3]

一种芯片表面及亚表面多层级缺陷检测系统及方法 [P].

张臣 ;

刘燚 ;

黄晓龙 ;

胡希睿 ;

范小康 ;

翁跃云 ;

雷诚 .

中国专利 :CN121208007A ,2025-12-26

[4]

亚表面缺陷的检测方法 [P].

张伟 ;

朱健强 .

中国专利 :CN101135654A ,2008-03-05

[5]

表面缺陷检测系统、表面缺陷检测方法及表面检测产线 [P].

曹文 ;

龙攀城 ;

丁玲玲 ;

付翱 .

中国专利 :CN115420750A ,2022-12-02

[6]

表面缺陷检测系统及方法 [P].

杨喜峰 ;

孙亚轩 ;

杨泽国 ;

赵永吉 ;

刘朝辉 .

中国专利 :CN120558990A ,2025-08-29

[7]

表面缺陷检测系统及方法 [P].

周倩玉 ;

商秀芹 .

中国专利 :CN113125448B ,2021-07-16

[8]

光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置 [P].

王红军 ;

吴琳 ;

田爱玲 ;

刘卫国 ;

王大森 ;

朱学亮 ;

刘丙才 .

中国专利 :CN109916909A ,2019-06-21

[9]

亚表面缺陷的检测装置 [P].

冯胜 ;

翟中生 ;

王选择 ;

谢博娅 .

中国专利 :CN113008796A ,2021-06-22

[10]

光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

李亚国 ;

雷向阳 ;

郑楠 ;

邓燕 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN201697882U ,2011-01-05

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