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曝光装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280047560.5
申请日：
2022-06-30
公开(公告)号：
CN117616341A
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
加藤正纪 水野恭志 中岛利治 藤村嘉彦
申请人：
株式会社尼康
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
陈伟;闫剑平
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-03-15 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220630
2024-02-27 公开 公开
共 50 条
[1]
曝光装置 [P]. 
加藤正纪 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117616344A ,2024-02-27
[2]
曝光装置以及曝光方法 [P]. 
今井洋之 .
中国专利 :CN109557768A ,2019-04-02
[3]
曝光装置及曝光方法 [P]. 
许琦欣 ;
郑乐平 .
中国专利 :CN103901730B ,2014-07-02
[4]
曝光装置 [P]. 
加藤正纪 ;
水野恭志 ;
川户聪 .
日本专利 :CN118475881A ,2024-08-09
[5]
曝光装置、曝光方法及电子器件的制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117581162A ,2024-02-20
[6]
曝光装置、曝光方法及平板显示器的制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117597629A ,2024-02-23
[7]
曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法及曝光数据生成方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 .
日本专利 :CN117597632A ,2024-02-23
[8]
曝光装置以及器件制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117651911A ,2024-03-05
[9]
数字曝光装置 [P]. 
石野裕久 .
日本专利 :CN117647915A ,2024-03-05
[10]
图像曝光装置 [P]. 
石井秀一 ;
木村宏一 ;
角克人 ;
石川弘美 ;
大森利彦 .
中国专利 :CN101120285A ,2008-02-06
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