一种基于卷曲硅纳米膜的气体传感器制备方法及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210031188.0

申请日：

2022-01-12

公开(公告)号：

CN115287589B

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

刘相红胡殷华张军娄成名

申请人：

青岛大学

申请人地址：

266000 山东省青岛市崂山区宁夏路308号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/18 C23C14/26 C23C14/30 C23C14/58 G01N27/00

代理机构：

青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104

代理人：

黄晓敏

法律状态：

授权

国省代码：

山西省临汾市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于硅纳米膜的氢气传感器 [P].

任子明 ;

杨世杰 ;

张中刚 ;

柴进 ;

王荣杰 ;

蒋德松 .

中国专利 :CN119269587A ,2025-01-07

[2]

一种基于硅纳米膜的氢气传感器 [P].

任子明 ;

杨世杰 ;

张中刚 ;

柴进 ;

王荣杰 ;

蒋德松 .

中国专利 :CN119269587B ,2025-10-21

[3]

基于PDMS-硅纳米膜的柔性心音传感器及其制备方法 [P].

王任鑫 ;

郝晓剑 ;

程丽霞 ;

史鹏程 ;

张文栋 ;

张国军 ;

崔建功 ;

杨玉华 ;

何常德 .

中国专利 :CN114955980B ,2025-04-11

[4]

一种气体传感器及气体传感器的制备方法 [P].

范梦雅 ;

郑禄达 ;

戴亚伟 .

中国专利 :CN119666935A ,2025-03-21

[5]

一种硅基MEMS气体传感器芯片的制备方法及应用 [P].

段国韬 ;

张征 ;

张彦林 ;

吕国梁 .

中国专利 :CN114014257B ,2025-07-01

[6]

MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法 [P].

刘宇航 ;

刘立滨 ;

李平 ;

许诺 .

中国专利 :CN108844652A ,2018-11-20

[7]

一种硅基MEMS气体传感器芯片的制备方法及应用 [P].

段国韬 ;

张征 ;

张彦林 ;

吕国梁 .

中国专利 :CN114014257A ,2022-02-08

[8]

一种气体敏感材料、气体传感器及其制备方法、应用 [P].

尤睿 ;

王可 ;

魏向阳 ;

李影 .

中国专利 :CN119775806A ,2025-04-08

[9]

一种气体传感器、传感器的制备方法及传感器阵列 [P].

许磊 ;

彭书峰 ;

谢东成 ;

周睿颖 .

中国专利 :CN108519408B ,2024-04-02

[10]

一种气体传感器、传感器的制备方法及传感器阵列 [P].

许磊 ;

彭书峰 ;

谢东成 ;

周睿颖 .

中国专利 :CN108519408A ,2018-09-11

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