一种硅基MEMS气体传感器芯片的制备方法及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111240173.7

申请日：

2021-10-25

公开(公告)号：

CN114014257B

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

段国韬张征张彦林吕国梁

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

B81B7/02

IPC分类号：

B81C1/00 G01N27/12

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

祝丹晴

法律状态：

授权

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅基MEMS气体传感器芯片的制备方法及应用 [P].

段国韬 ;

张征 ;

张彦林 ;

吕国梁 .

中国专利 :CN114014257A ,2022-02-08

[2]

硅基共平面微型气体传感器芯片及制备微型气体传感器 [P].

张彤 ;

马晓康 ;

费腾 ;

王丽杰 ;

王蕊 ;

贺媛 .

中国专利 :CN102358612A ,2012-02-22

[3]

MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法 [P].

刘宇航 ;

刘立滨 ;

李平 ;

许诺 .

中国专利 :CN108844652A ,2018-11-20

[4]

一种MEMS气体传感器装置及制备方法 [P].

李娜 ;

李元侠 ;

姚亚蕊 ;

张聪聪 .

中国专利 :CN118465003A ,2024-08-09

[5]

一种MEMS气体传感器装置及制备方法 [P].

李娜 ;

李元侠 ;

姚亚蕊 ;

张聪聪 .

中国专利 :CN118465003B ,2025-06-17

[6]

一种MEMS气体传感器及其制备方法 [P].

赵宇鑫 .

中国专利 :CN121231572A ,2025-12-30

[7]

气敏材料、气体传感器芯片及制备方法、MEMS传感器及应用 [P].

张永杰 ;

曹文卓 ;

闫昭 ;

李婷 .

中国专利 :CN117509750A ,2024-02-06

[8]

MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法 [P].

木村哲平 ;

铃木弘明 ;

寺泽和雄 .

中国专利 :CN112805557A ,2021-05-14

[9]

气体传感器芯片、传感器及传感器芯片制备方法 [P].

祁明锋 ;

王利利 ;

王三良 ;

秦东振 ;

焦桂东 .

中国专利 :CN101059463B ,2007-10-24

[10]

热线型气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法 [P].

崔铮 ;

张克栋 ;

刘福星 ;

余飞 ;

陈晓越 ;

袁伟 ;

李亚邦 ;

常晓远 .

中国专利 :CN109932402A ,2019-06-25

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