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MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980066186.1
申请日：
2019-08-28
公开(公告)号：
CN112805557A
公开(公告)日：
2021-05-14
发明(设计)人：
木村哲平
铃木弘明
寺泽和雄
申请人：
申请人地址：
日本京都
IPC主分类号：
G01N2712
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
田喜庆
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-14 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/12 申请日:20190828 |