MEMS气体传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010163137.4

申请日：

2020-03-10

公开(公告)号：

CN111751285A

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

D·图姆波德

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

G01N2117

IPC分类号：

G01N2101 B81B702 B81B700

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郭星

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/17 申请日:20200310
2020-10-09	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS气体传感器 [P].

D·图姆波德 .

德国专利 :CN111751285B ,2024-09-20

[2]

MEMS气体传感器 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN222979513U ,2025-06-13

[3]

MEMS气体传感器 [P].

张绍达 ;

高胜国 ;

钟克创 ;

古瑞琴 .

中国专利 :CN204694669U ,2015-10-07

[4]

MEMS气体传感器 [P].

艾治州 ;

王东升 ;

张小辛 .

中国专利 :CN216870437U ,2022-07-01

[5]

MEMS气体传感器 [P].

艾治州 ;

王东升 ;

张小辛 .

中国专利 :CN216870441U ,2022-07-01

[6]

MEMS气体传感器和提高MEMS气体传感器稳定性的方法 [P].

刘宇航 ;

刘秀洁 ;

许诺 ;

汪晓军 .

中国专利 :CN110361423A ,2019-10-22

[7]

MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法 [P].

木村哲平 ;

铃木弘明 ;

寺泽和雄 .

中国专利 :CN112805557A ,2021-05-14

[8]

气体传感器（MEMS） [P].

王利利 ;

郝明亮 ;

郜广慧 ;

王瑞铭 .

中国专利 :CN308841634S ,2024-09-17

[9]

MEMS气体传感器安装体 [P].

木村哲平 ;

铃木弘明 .

日本专利 :CN113597549B ,2024-07-12

[10]

MEMS气体传感器安装体 [P].

木村哲平 ;

铃木弘明 .

中国专利 :CN113597549A ,2021-11-02

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