一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210248642.8

申请日：

2022-03-14

公开(公告)号：

CN115368286B

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

钱晓春龚艳姜超徐丽萍

申请人：

常州强力先端电子材料有限公司常州强力电子新材料股份有限公司常州强力光电材料有限公司

申请人地址：

213159 江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园

IPC主分类号：

C07D207/327

IPC分类号：

C07D209/08 C07D213/57 C07D317/72 C07C323/63 C07D333/24 C07C303/00 C07C309/73 C07C309/65 C07C309/00 C07C303/28 G03F7/004

代理机构：

北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328

代理人：

刘子文;徐驰

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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共 50 条

[1]

一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115368285A ,2022-11-22

[2]

一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115368285B ,2024-03-26

[3]

一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115368286A ,2022-11-22

[4]

一种高产酸的i线肟磺酸酯类光产酸剂 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115368287A ,2022-11-22

[5]

一种高产酸的i线肟磺酸酯类光产酸剂 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115368287B ,2024-03-19

[6]

高产酸肟磺酸酯类光产酸剂及其抗蚀剂组合物应用 [P].

林书玮 ;

俞灏洋 ;

马骥 ;

季昌彬 .

中国专利 :CN115611782A ,2023-01-17

[7]

肟磺酸酯类光产酸剂及其抗蚀剂组合物应用 [P].

黄巍 ;

王振强 ;

俞凯文 ;

张春 .

中国专利 :CN115650886A ,2023-01-31

[8]

一种磺酸肟酯类光产酸剂 [P].

钱晓春 ;

钱彬 ;

胡春青 ;

王兵 ;

李军 .

中国专利 :CN103389621B ,2013-11-13

[9]

一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115109046A ,2022-09-27

[10]

一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用 [P].

钱晓春 ;

龚艳 ;

姜超 ;

徐丽萍 .

中国专利 :CN115109046B ,2024-09-03

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	授权	授权