一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂

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申请号
CN202210248642.8
申请日
2022-03-14
公开(公告)号
CN115368286A
公开(公告)日
2022-11-22
发明(设计)人
钱晓春 龚艳 姜超 徐丽萍
申请人
申请人地址
213159 江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园
IPC主分类号
C07D207327
IPC分类号
C07D20908 C07D21357 C07D31772 C07C32363 C07D33324 C07C30300 C07C30973 C07C30965 C07C30900 C07C30328 G03F7004
代理机构
北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328
代理人
刘子文;徐驰
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115368285A ,2022-11-22
[2]
一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115368285B ,2024-03-26
[3]
一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115368286B ,2024-03-22
[4]
一种高产酸的i线肟磺酸酯类光产酸剂 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115368287A ,2022-11-22
[5]
一种高产酸的i线肟磺酸酯类光产酸剂 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115368287B ,2024-03-19
[6]
高产酸肟磺酸酯类光产酸剂及其抗蚀剂组合物应用 [P]. 
林书玮 ;
俞灏洋 ;
马骥 ;
季昌彬 .
中国专利 :CN115611782A ,2023-01-17
[7]
肟磺酸酯类光产酸剂及其抗蚀剂组合物应用 [P]. 
黄巍 ;
王振强 ;
俞凯文 ;
张春 .
中国专利 :CN115650886A ,2023-01-31
[8]
一种磺酸肟酯类光产酸剂 [P]. 
钱晓春 ;
钱彬 ;
胡春青 ;
王兵 ;
李军 .
中国专利 :CN103389621B ,2013-11-13
[9]
一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115109046A ,2022-09-27
[10]
一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用 [P]. 
钱晓春 ;
龚艳 ;
姜超 ;
徐丽萍 .
中国专利 :CN115109046B ,2024-09-03