基板载体系统、运输设备和基板载体系统的用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310452907.0

申请日：

2023-04-25

公开(公告)号：

CN117904587A

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

S·奥尔霍恩 J·克劳斯 R·库南兹 M·迪默 C·波斯卢兹尼 R·西伯特

申请人：

冯·阿登纳资产股份有限公司

申请人地址：

德国德累斯顿

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

代理机构：

北京市铸成律师事务所 11313

代理人：

王珺;李文颖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	公开	公开
2024-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20230425

共 50 条

[1]

处理基板的方法和基板载体系统 [P].

托马斯·沃纳·兹巴于尔 ;

哈拉尔·克劳丝 .

中国专利 :CN109196422A ,2019-01-11

[2]

具有保护覆盖物的基板载体系统 [P].

王作乾 ;

J·M·怀特 .

中国专利 :CN106575720B ,2017-04-19

[3]

基板载体系统及使用它的方法 [P].

王作乾 ;

J·M·怀特 .

中国专利 :CN106165141B ,2016-11-23

[4]

用于化学气相沉积反应器的自定心晶片载体系统和单晶片基板载体 [P].

S·克里士南 ;

A·I·古拉雷 ;

张正宏 ;

E·马塞罗 .

中国专利 :CN206127420U ,2017-04-26

[5]

用于待处理的基板的载体系统 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

格奥尔·约斯特 ;

斯蒂芬·凯勒 ;

安科·赫尔密西 ;

托马斯·格比利 .

中国专利 :CN107438897A ,2017-12-05

[6]

载体系统 [P].

A·奥里基奥 ;

F·戴尔阿奎拉 ;

I·特拉帕尼 ;

R·费尔拉 .

:CN117377771A ,2024-01-09

[7]

双载体系统及其用途 [P].

刘志刚 ;

沈世杰 ;

刘玉兰 ;

郭晶晶 ;

郝小勃 .

中国专利 :CN108251431B ,2018-07-06

[8]

载体、载体系统及方法 [P].

J·费尔海恩 ;

T·维穆尔卡尔 .

英国专利 :CN120659668A ,2025-09-16

[9]

多载体系统中的系统监控方法和装置、多载体系统 [P].

Z·韩 ;

R·乌尔瑟 .

法国专利 :CN120028612A ,2025-05-23

[10]

盘载体系统 [P].

迈克尔·L·约翰逊 ;

卡洛斯·卡达维德 ;

小罗纳德·E·托马斯 ;

安德鲁·哈里斯 .

中国专利 :CN101641036A ,2010-02-03

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