一种真空镀膜设备的样品位置调整机构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322435082.X
申请日
2023-09-07
公开(公告)号
CN220788751U
公开(公告)日
2024-04-16
发明(设计)人
王实博 黄文符
申请人
沈阳成功科技有限公司 中科(沈阳)产业技术创新研究院有限公司
申请人地址
110027 辽宁省沈阳市铁西区经济技术开发区中德大街8号1003
IPC主分类号
C23C14/24
IPC分类号
C23C14/50
代理机构
沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254
代理人
杨群
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
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