一种铜互连结构的制作方法、铜互连结构及电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510563368.3

申请日：

2015-09-07

公开(公告)号：

CN106505031B

公开(公告)日：

2017-03-15

发明(设计)人：

邓浩

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23528

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;高伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-15	公开	公开
2019-12-31	授权	授权
2017-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101712766131 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015105633683 申请日:20150907

共 50 条

[1]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[2]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[3]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

徐强 ;

郑春生 ;

张文广 .

中国专利 :CN102324400A ,2012-01-18

[4]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102324401B ,2012-01-18

[5]

铜互连结构制作方法 [P].

邢中豪 ;

赵波 .

中国专利 :CN112259502B ,2021-01-22

[6]

铜互连结构的制作方法、半导体器件及电子装置 [P].

王志高 .

中国专利 :CN105845620A ,2016-08-10

[7]

铜互连结构及其制作方法 [P].

拉比尔·伊斯拉姆 ;

阿乌格里诺斯·V·格拉特斯 ;

克文·卢卡斯 ;

斯坦利·M·费里皮克 ;

拉纳思·温卡特拉曼 .

中国专利 :CN1232291A ,1999-10-20

[8]

铜互连结构的制作方法、半导体器件及电子装置 [P].

王志高 ;

李泽逵 .

中国专利 :CN105870049A ,2016-08-17

[9]

铜互连结构的制作方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN105633005A ,2016-06-01

[10]

铜互连结构的制作方法 [P].

洪明杰 ;

贾晓峰 ;

陈献龙 .

中国专利 :CN115036270A ,2022-09-09

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