膜厚控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520734611.9

申请日：

2015-09-21

公开(公告)号：

CN204918752U

公开(公告)日：

2015-12-30

发明(设计)人：

付文悦陈立强孙俊民

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李相雨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-30	授权	授权

共 50 条

[1]

膜厚控制系统及膜厚控制方法 [P].

付文悦 ;

陈立强 ;

孙俊民 .

中国专利 :CN105088172A ,2015-11-25

[2]

光学膜厚测量控制系统 [P].

魏扬 ;

张博 ;

李剑辉 ;

谢亮 ;

李方 ;

靳毅 ;

薛尚清 .

中国专利 :CN201748901U ,2011-02-16

[3]

一种吹膜机膜厚控制系统 [P].

接俊龙 ;

王徐晨 ;

朱培逸 .

中国专利 :CN216118427U ,2022-03-22

[4]

狭缝式涂布机膜厚的控制方法及膜厚控制系统 [P].

杨志明 .

中国专利 :CN102632019B ,2012-08-15

[5]

壁厚控制系统 [P].

江德云 .

中国专利 :CN203752484U ,2014-08-06

[6]

一种膜厚控制系统 [P].

邹细勇 ;

朱力 ;

胡晓静 .

中国专利 :CN110667148A ,2020-01-10

[7]

管材壁厚控制系统 [P].

何海潮 ;

王廷剑 .

中国专利 :CN213618286U ,2021-07-06

[8]

狭缝式涂布机的膜厚控制系统 [P].

杨志明 .

中国专利 :CN202570543U ,2012-12-05

[9]

沉积薄膜膜厚分布测量系统 [P].

张建华 ;

张志林 ;

蒋雪茵 .

中国专利 :CN104613911A ,2015-05-13

[10]

型胚壁厚控制系统 [P].

周筱龙 .

中国专利 :CN202399510U ,2012-08-29

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