膜厚控制系统及膜厚控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510605228.8

申请日：

2015-09-21

公开(公告)号：

CN105088172A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

付文悦陈立强孙俊民

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李相雨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638524141 IPC(主分类):C23C 14/54 专利申请号:2015106052288 申请日:20150921
2017-12-01	授权	授权
2015-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

膜厚控制系统 [P].

付文悦 ;

陈立强 ;

孙俊民 .

中国专利 :CN204918752U ,2015-12-30

[2]

狭缝式涂布机膜厚的控制方法及膜厚控制系统 [P].

杨志明 .

中国专利 :CN102632019B ,2012-08-15

[3]

光学膜厚测量控制系统 [P].

魏扬 ;

张博 ;

李剑辉 ;

谢亮 ;

李方 ;

靳毅 ;

薛尚清 .

中国专利 :CN201748901U ,2011-02-16

[4]

一种膜厚控制系统 [P].

邹细勇 ;

朱力 ;

胡晓静 .

中国专利 :CN110667148A ,2020-01-10

[5]

板厚控制系统、板厚控制装置及板厚控制方法 [P].

福村彰久 ;

服部哲 ;

福地裕 .

中国专利 :CN101480664B ,2009-07-15

[6]

膜厚控制系统及薄膜剖面图像的字符提取与膜厚采集方法 [P].

邹细勇 ;

朱力 ;

胡晓静 .

中国专利 :CN107310173A ,2017-11-03

[7]

TDC控制系统、方法和膜厚检测装置 [P].

弗拉基米尔·克雷姆尼察 ;

王龙 ;

敬文华 .

中国专利 :CN110836832B ,2020-02-25

[8]

一种吹膜机膜厚控制系统 [P].

接俊龙 ;

王徐晨 ;

朱培逸 .

中国专利 :CN216118427U ,2022-03-22

[9]

光学镀膜膜厚监测自动控制系统及监控方法 [P].

菊池和夫 ;

赵升林 ;

杨育兴 ;

张兰 ;

党亚军 .

中国专利 :CN101161856A ,2008-04-16

[10]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431A ,2024-12-31

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