金属硅化物及金属硅化物上接触孔的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710078941.0

申请日：

2017-02-14

公开(公告)号：

CN106683996A

公开(公告)日：

2017-05-17

发明(设计)人：

徐涛王卉陈宏曹子贵

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21285

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	授权	授权
2017-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101726046010 IPC(主分类):H01L 21/285 专利申请号:2017100789410 申请日:20170214
2017-05-17	公开	公开

共 50 条

[1]

金属硅化物制造方法 [P].

罗军 ;

邓坚 ;

赵超 ;

钟汇才 ;

李俊峰 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN103377894A ,2013-10-30

[2]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075913A ,2025-12-05

[3]

金属硅化物的制造方法 [P].

张国华 .

中国专利 :CN1299339C ,2004-06-23

[4]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075912A ,2025-12-05

[5]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075914A ,2025-12-05

[6]

金属硅化物的制造方法 [P].

谢朝景 ;

江怡颖 ;

黄建中 ;

曹博昭 ;

徐新惠 ;

林建廷 ;

戎乐天 .

中国专利 :CN1862779A ,2006-11-15

[7]

金属硅化物的制造方法 [P].

黄昭元 .

中国专利 :CN1453839A ,2003-11-05

[8]

金属硅化物的制造方法 [P].

郭振强 ;

樊颖涛 .

中国专利 :CN118471797A ,2024-08-09

[9]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075915A ,2025-12-05

[10]

金属硅化物接触层的制造方法 [P].

杜珊珊 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN101459068A ,2009-06-17

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