等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710116676.0

申请日：

2017-03-01

公开(公告)号：

CN107146754A

公开(公告)日：

2017-09-08

发明(设计)人：

保罗·贝内特

申请人：

申请人地址：

英国新港

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L213065 H01L2167

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

徐川;姚开丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-08	公开	公开
2020-08-07	授权	授权
2019-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20170301

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN102737941A ,2012-10-17

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

西野雅 ;

舟久保隆男 ;

狐塚慎一 ;

新妻良祐 ;

伊藤务 .

中国专利 :CN104576453A ,2015-04-29

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

吹野康彦 ;

丸山智久 .

中国专利 :CN103839748A ,2014-06-04

[4]

等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 ;

宫下大幸 ;

小野田裕之 ;

川上聪 .

中国专利 :CN115696713A ,2023-02-03

[5]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN104994676A ,2015-10-21

[6]

等离子体处理装置 [P].

川又由雄 ;

神户优 .

中国专利 :CN108690966B ,2018-10-23

[7]

等离子体处理装置 [P].

西村荣一 ;

大秦充敬 .

中国专利 :CN107078049A ,2017-08-18

[8]

等离子体处理装置 [P].

川又由雄 .

中国专利 :CN110872691A ,2020-03-10

[9]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN102421238B ,2012-04-18

[10]

等离子体处理装置 [P].

孙溯 ;

彭帆 ;

张二辉 .

中国专利 :CN207731900U ,2018-08-14

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