等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580049735.6

申请日：

2015-10-08

公开(公告)号：

CN107078049A

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

西村荣一大秦充敬

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L2128 H01L21683 H01L218246 H01L27105 H01L4308 H01L4310 H01L4312

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	授权	授权
2017-08-18	公开	公开
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747183042 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2015800497356 申请日:20151008

共 50 条

[1]

等离子体处理装置、环形部件和等离子体处理方法 [P].

佐佐木康晴 ;

长池宏史 ;

守屋刚 .

中国专利 :CN1521805A ,2004-08-18

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

日本专利 :CN111261511B ,2024-06-18

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

中国专利 :CN111261511A ,2020-06-09

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

吹野康彦 ;

丸山智久 .

中国专利 :CN103839748A ,2014-06-04

[6]

等离子体处理方法 [P].

永海幸一 .

中国专利 :CN107221493A ,2017-09-29

[7]

等离子体处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

佐藤亮 ;

山科井作 .

中国专利 :CN111952141A ,2020-11-17

[8]

等离子体处理装置 [P].

金子和史 ;

石田洋平 .

中国专利 :CN114496697A ,2022-05-13

[9]

等离子体处理装置 [P].

泽田郁夫 ;

康松润 ;

河西繁 .

中国专利 :CN102089867B ,2011-06-08

[10]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

石川拓 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101622698B ,2010-01-06

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