共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
等离子体处理装置
被引：0
申请号：
CN202111224195.4
申请日：
2021-10-20
公开(公告)号：
CN114496697A
公开(公告)日：
2022-05-13
发明(设计)人：
金子和史
石田洋平
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;王昊
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-13 | 公开 | 公开 |