等离子体处理装置以及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210517334.7

申请日：

2012-12-05

公开(公告)号：

CN103151234A

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

奥村智洋

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

刘晓迪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101490723946 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2012105173347 申请日:20121205
2013-06-12	公开	公开
2016-05-25	授权	授权
2016-02-24	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728230087 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2012105173347 登记生效日:20160129 变更事项:申请人变更前权利人:松下电器产业株式会社变更后权利人:松下知识产权经营株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本大阪府变更后权利人:日本大阪府

共 50 条

[1]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

奥村智洋 ;

川浦广 ;

幸本彻哉 .

中国专利 :CN103094038B ,2013-05-08

[2]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

安藤阳二 ;

小野哲郎 ;

臼井建人 .

中国专利 :CN103811249B ,2014-05-21

[3]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

奥村智洋 ;

川浦广 .

中国专利 :CN104641730A ,2015-05-20

[4]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[5]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

武藤悟 ;

小野哲郎 ;

大越康雄 ;

永德宏文 .

中国专利 :CN104103486B ,2014-10-15

[6]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

森本未知数 ;

大越康雄 ;

大平原勇造 ;

小野哲郎 .

中国专利 :CN103632914A ,2014-03-12

[7]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

石桥清隆 .

中国专利 :CN101587825B ,2009-11-25

[8]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

饭岛悦夫 ;

土屋浩 .

中国专利 :CN1228820C ,2004-03-10

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101465283A ,2009-06-24

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101969016A ,2011-02-09

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